金刚石高频率高功率晶体管研发和产业化

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　　项目概述：金刚石是我们常说的钻石（钻石是它的俗称），它是一种由纯碳组成的矿物。金刚石有着许多比其他传统半导体材料出类拔萃的优点，最显著的是它是自然界中最坚硬的物质，导热散热能力最强，电子、空穴流动性最大的材料（参看表一）。它被科学家预言为最理想的终极半导体材料，材料科学家的梦想材料。但是由于它的成本太高，而且切割等操作不易，因此在很大程度上只是作为珠宝奢侈品使用。但是自从90年代人造金刚石薄膜可以在实验室中通过利用化学气相沉积法(CVD)生长以来，由于成本大大降低，而且易于控制工艺操作过程，进而易于控制它的物理化学性能，这为国际科技学术界开辟了一条新的探索此种特殊半导体材料的道路。在此材料基础上设计和制作的高温半导体高频率高功率微波器件是又一里程碑式的重大技术创新。

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